Grundlagen

Die Korrektur von Öffnungsfehler (Cs) und Farbfehler (Cc) kann prinzipiell nicht durch rotationssymmetrische Elektronenlinsen erfolgen (Scherzer, Z. Phys. 101 (1936) 593 ). Für die Korrektur müssen Multipolelemente eingesetzt werden.

  • Unser Cc/Cs-Korrektor basiert auf elektrisch/magnetischen Quadrupolen und Oktupolen wie von Rose (Optik 33 (1971) 1) erfunden.
  • Die Cs-Korrektoren verwenden Hexapole zusammen mit zusätzlichen Rundlinsen (Rose, Optik 85 (1990) 19).
  • Wir haben auch einen rein elektrostatischen Cc/Cs-Korrektor (Weißbäcker & Rose, 2001) entwickelt, der an ionenoptische Anwendungen angepasst ist.

Prinzipielle Fragen zu den Grundlagen der Elektronenmikroskopie werden hier beantwortet: