BCOR - Cs/B3 TEM-Korrektor für die Aberrationskorrektur großformatiger TEM Abbildungen selbst in den äußersten Bildfeldbereichen

BCOR – Cs/B3 Korrektor für TEM

BCOR - Cs/B3 TEM-Korrektor für die Aberrationskorrektur großformatiger TEM Abbildungen selbst in den äußersten Bildfeldbereichen

Der BCOR wurde entwickelt um aberrationsfreie Abbildungen selbst in den Randbereichen von Bildfelder großer Kameras zu ermöglichen (4kx4k Kameras und größer). Zu diesem Zweck korrigiert der BCOR nicht nur vornehmlich die sphärische Aberration Cs, sondern vor allem auch die außeraxiale Koma B3, welche maßgeblich die Auflösung in außeraxialen Bildfeldbereichen limitiert. Zudem korrigiert der BCOR auch alle axialen Aberrationen bis zur 5. Ordnung. Dank seines optimierten Aufbaus liefert der BCOR die Möglichkeit alle parasitären(+) axialen Aberrationen bis zur 4. Ordnung und alle außeraxialen Aberrationen bis zur 3. Ordnung zu korrigieren. Damit ist der BCOR der erste Korrektor der eine vollständig „aplanate“ und bis zur 5. Ordnung korrigierte TEM ermöglicht und eignet sich besonders für hochauflösungs TEM, v.a. in Kombination mit sehr großen Kameradetektoren (4kx4k und größer) im Bereich der Materialwissenschaften.

(+) Parasitäre Aberrationen = Aberrationen die durch Toleranzen und Ungenauigkeiten in der mechanischen Montage des Korrektors entstehen

Merkmale:

  • Hexapol-Type Cs/B3 Korrektor für die Aberrationskorrektur großformatiger TEM Abbildungen selbst in den äußersten Bildfeldbereichen
  • Automatische Korrektur der außeraxialen Koma B3, und aller außeraxialen Bildfehler bis zur 3. Ordnung, zur Auflösungssteigerung in den äußeren Bildfeldbereichen.
  • Automatische Korrektur aller axialen Bildfehler bis zur 5. Ordnung (We, C1, A1, B2, A2, C3, S3, A3, A4, B4, D4, A5)
  • Ermöglicht echte „aplanate“ TEM (Messung und vollständige Korrektur aller parasitären axialen Aberrationen bis zur 4.Ordnung und außeraxialen Aberrationen bis zur 3.Ordnung)
  • Informationslimit besser als 70pm bei 300kV
  • Kompatibel mit folgenden TEMs: Hitachi HF-3300S, weitere auf Anfrage

Technische Daten:

  • Maße (HxBxT): 434 x 390 x 279 [mm]
  • Mikroskopie-Modus: TEM
  • Hochspannungsbereich: 60kV – 300kV

Anwendungsbereich:

Einsatz in der hochauflösenden Transmissionselektronenmikroskopie (TEM), v.a. In Kombination mit sehr großen Kameradetektoren (4kx4k und größer) im Bereich der Materialwissenschaften.

Kontakt

Haben Sie Fragen zu diesem Produkt oder zu Anwendbarkeit und Erweiterung für Ihr System, dann kontaktieren Sie uns unter info@ceos-gmbh.de

Variation_Abb_Bildfeld

a) Variation des zwei-zähligen Astigmatismus über das Bildfeld. b) Nach der Korrektur aller linearen außeraxialen Aberrationen bis zur dritten Ordnung mit dem BCOR. Die außeraxialen Fehler in den Randbereichen des Bildfelds haben sich deutlich verinngert. Verwendet wurde eine Pobe aus amorphen Wolfram. Die Bilder wure aufgenommen mit einer CCD Kamera (2k x 2k , gNy= 5.36/nm, FoV 191nm x 191nm) an einem Hitachi HF3300V mit cold FEG bei 300kV.

Anwendungen_W_Au_Proben

Anwendungsbeispiele des Hitachi HF 3300V Mikroskops mit B-COR bei 300kV: a) dünne Wolframfolie, b) orientiertes Gold Au [100]. Die sphärische Aberration Cs, sechs-zähliger Astigmatismus und außeraxiale Aberrationen sind korrigiert. Das sub-70pm Informationlimit ist klar zu erkennen.