CETCOR - Cs Korrektor für TEM

CETCOR – Cs Korrektor für TEM

CETCOR - Cs Korrektor für TEM

Der CETCOR wurde für die Kompensation der sphärischen Aberration (Cs) im hochauflösenden Transmissionselektronenmikroskop (TEM) entwickelt. Er kompensiert zudem alle Bildfehler bis einschließlich zur 3. Ordnung (A1, B2, A2, C3, S3, A3). Der CETCOR ist variabel einsetzbar für Hochspannung zwischen 30 kV und 300 kV. Durch die Bildfehlerkorrektur kann die Punktauflösung auf das Informationslimit des TEMs angepasst werden. Bei TEMs mit Schottky-Emitter bedeutet dies eine Auflösungsverbesserungen um etwa den Faktor 2 gegenüber einem unkorrigierten TEM. In Kombination mit einer monochromatisierten Elektronenquelle, können abhängig von der genutzten Hochspannung Informationslimits von ca. 80pm (200kV) und ca. 50pm (300kV) erreicht werden. Der CETCOR eignet sich vor allem für Hochauflösungs-TEM auf atomarer Ebene für materialwissenschaftliche Anwendungen im Nanotechnologie-Bereich.

Merkmale:

  • Cs Korrektor für hochauflösungs-TEM
  • Automatische Korrektur aller axialen Bildfehler bis einschließlich zur 3.Ordnung (A1, B2, A2, C3, S3, A3)
  • Verschwindende Delokalisation im Bild
  • Verbesserte Punktauflösung
  • In Kombination mit Monochromator wird ein Informationslimit von besser als 80 pm (200 kV), 50 pm (300 kV) erreicht
  • Kompatibel mit vielen TEMs: TFS (Tecnai F20, Titan, Themis und Spectra), JEOL (JEM 2100F, ARM200 und NEOARM200), Zeiss (Libra 200)

Technische Daten:

  • Maße (HxBxT): 250 x 396 x 306 [mm]
  • Mikroskopie-Modus: TEM
  • Hochspannungsbereich: 30kV – 300kV

Anwendungsbereich:

Einsatz in der hochauflösenden Transmissionselektronenmikroskopie, speziell im Bereich der Materialwissenschaften.

Kontakt

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CoSi2_Grenzfläche_Cs_korrigiert

Bilder einer CoSi2 Grenzfläche, aufgenommen im unkorrigierten TEM, im Scherzer Fokus, im Lichte Fokus sowie im Cs-korrigierten TEM. Im Lichte-Defokus kann die Delokalisation zwar reduziert, jedoch nicht komplett eliminiert werden. Dabei geht zudem die phasenrichtige Abbildung verloren. Nur im Cs-korrigierten TEM ist die Grenzfläche zwischen den Elementen atomar scharf aufgelöst. Die Bilder wurden bei 200 kV mit einem Philips-CM200F-Elektronenmikroskop mit aus- und eingeschaltetem CETCOR aufgenommen. (Haider et al., Advances in imaging and electron physics, Vol. 153, p.43-120,(2008)).

Young_Fringes_Cs_korrigiert

Young's-fringes-Auflösungstest in einem Zeiss UHRTEM mit CETCOR und CEOS Monochromator (Uhlemann, S., and Haider, M. (2002). Experimental set-up of a fully electrostatic monochromator for a 200 kV TEM. In Proceedings 15th International Congress on Electron Microscopy, vol. I., pp. 327–328. Durban: Microscopy Society of Southern Africa). Das Informationslimit im Bild ist bei 200 kV besser als 80 pm (oder 12.5/nm). Die Diffraktogramme stammen von Aufnahmen amorpher β-Tantal Proben. (Schlossmacher et al., Breaking through the Barrier, Imaging & Microscopy 2/2005, 50–52).

Young_Fringes_Cs_korrigiert_300kV

Young's-fringes-Auflösungstest an einer amorphen Kohlenstoff-Probe mit Gold-Partikeln. Die Bilder wurden mit einem FEI Titan mit high-brightness Schottky FEG und einem CETCOR bei 300 kV aufgenommen (TEAM 0.5 Projekt). Ohne Monochromator a) reichen die Young fringes nur bis ca. 70 pm. Mit Monochromator b) reichen die Young fringes über die 50 pm Marke hinaus (roter Kreis). Dies demonstriert eine 50 pm Auflösung mit dem CETCOR. Abtastlinien (rot und grün) wurden von Bereichen genommen, die im Bild mit roter und grüner Box markiert sind. Der rote Pfeil markiert die 50 pm Position. (Kisielowski et al., Microscopy and Microanalysis 14.5 (2008): 469.)