Grundlagen

Die Korrektur von Öffnungsfehler (C_s) und Farbfehler (C_c) kann prinzipiell nicht durch rotationssymmetrische Elektronenlinsen erfolgen (Scherzer, Z. Phys. 101 (1936) 593 ). Für die Korrektur müssen Multipolelemente eingesetzt werden.

• Unser C_c/C_s-Korrektor basiert auf elektrisch/magnetischen Quadrupolen und Oktupolen wie von Rose (Optik 33 (1971) 1) erfunden.
• Die C_s-Korrektoren verwenden Hexapole zusammen mit zusätzlichen Rundlinsen (Rose, Optik 85 (1990) 19).
• Wir haben auch einen rein elektrostatischen C_c/C_s-Korrektor (Weißbäcker & Rose, 2001) entwickelt, der an ionenoptische Anwendungen angepasst ist.

Prinzipielle Fragen zu den Grundlagen der Elektronenmikroskopie werden hier beantwortet:

• Wer erfand das Elektronenmikroskop?
• Warum verwendet man Elektronenmikroskope an Stelle von Lichtmikroskopen?
• Wie funktioniert ein Elektronenmikroskop?
• Welche Typen von Elektronenmikroskopen gibt es?
• Was bedeutet das berühmte "Scherzer Theorem"?
• Welche Linsenfehler gibt es und wie werden sie korrigiert?
• Wie sieht ein typischer Korrektor aus und wie funktioniert er?
• Wie ist das Informationslimit definiert?
• Welche analytische Methoden können in einem Elektronenmikroskop angewandt werden?